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光刻機是什麼 光刻機是幹嘛用的

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導語:一般我們很少聽說光刻機這一物品,因為這是一個專業技術領域的東西。光刻機其實在科技領域是非常重要的存在,尤其和晶片製作有著必然聯絡。那麼,到底這光刻機是什麼東西呢?酒精光刻機是幹嘛用的?下面我們就一起來了解。

光刻機是什麼 

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光刻機

光刻機又名掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等,是製造晶片的核心裝備。它採用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印製到矽片上。

光刻機的品牌眾多,根據採用不同技術路線的可以歸納成如下幾類:

高階的投影式光刻機可分為步進投影和掃描投影光刻機兩種,解析度通常七奈米至幾微米之間,高階光刻機號稱世界上最精密的儀器,世界上已有1、2億美金一臺的光刻機。高階光刻機堪稱現代光學工業之花,其製造難度之大,全世界只有少數幾家公司能夠製造。國外品牌主要以荷蘭ASML(鏡頭來自德國),日本Nikon(intel曾經購買過Nikon的高階光刻機)和日本Canon三大品牌為主。

位於我國上海的SMEE已研製出具有自主智慧財產權的投影式中端光刻機,形成產品系列初步實現海內外銷售。正在進行其他各系列產品的研發製作工作。

生產線和研發用的低端光刻機為接近、接觸式光刻機,解析度通常在數微米以上。主要有德國SUSS、美國MYCRO NXQ4006、以及中國品牌。

 光刻機是幹嘛用的?

光刻機是什麼 光刻機是幹嘛用的 第2張

光刻機用途

光刻機是晶片製造的核心裝置之一,作為目前世界上最複雜的精密裝置之一,其實光刻機除了能用於生產晶片之外,還有用於封裝的光刻機,或者是用於LED製造領域的投影光刻機。目前,我國高階的光刻機,基本上是從荷蘭ASML進口的。

光刻機作為工業製造之花,已經是真正高科技的象徵,這個裝置非常精密,沒有他晶片幾乎是製造不出來的。簡單來說,光刻機把獲得的單一光源,通過把電腦上的晶片邏輯‘與或非’門級電路圖的影像,不斷的進行聚光,最後形成一個點,聚光到矽晶圓上,對矽片進行燒錄,最後在矽片上形成和電腦上的邏輯電路影像一樣的圖案,這個圖案的每個線路最小是在5奈米左右,這個圖案就是矽晶圓的邏輯電路,多個矽晶圓疊加在一起,便可以形成晶片。只有光刻機發出的光,才可以在這麼小的奈米級的範圍內進行任意織出自己想要的電路圖。所以有人說,光刻機是晶片之母,是工業之花。

光刻機是幹嘛用的

晶片是電子產品所必不可少的元件,晶片製造商要想成功地製造出晶片來,必須用到光刻機。對晶片製造商來說,光刻機就是核心的生產裝置。

光刻機被稱為“人類最精密複雜的機器”,製造光刻機更被比作是在微觀世界裡“造房子”——成像系統由幾十個直徑為200~300毫米的透鏡組成,定位精度都是奈米級。微米級的瞬時傳輸控制技術,猶如兩架空客以1000/小時公里同步高速運動,在瞬間對接穿針引線。

作為積體電路製造過程中最核心的裝置,光刻機至關重要,晶片廠商想要提升工藝製程,沒有它萬萬不行,中國半導體工藝為啥提升不上去,光刻機被禁售是一個主要因素。

中芯國際向荷蘭ASML進口EUV光刻機意味著中國終於有能力進軍7nm及以下的晶片製造工藝,換句話說,中芯國際已經有了和Intel、三星、臺積電叫板的硬體實力。

當然,光刻機並非晶片製造的全部,配套的技術、人員的經驗和整個生產線上的磨合也需要一定的時間。但是解決了最大的光刻機問題以後,這些對於中國人來說也只是時間的問題。

現在,國內企業將有先進的光刻機,在晶片製造方面可以大踏步的趕上世界一流水平。

但是,我們國內的光刻機水平與國際的先進水平差距還很大,要真正實現技術核心自主創新,還需要相關的裝置創新再上新臺階。

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